光谱共焦测量透明件的平整度和厚度
时间:2023-11-15 阅读:1472
光谱共焦传感器透明件的平整度和厚度可同时测量
光谱共焦传感器特点
1、光谱共焦传感器和传统三角测距法比较
三角测距是利用感光元件(CCD/CMOS)上的光点位置变化来测量被测物的距离变化。虽然通过从感光波形计算出峰值或重心等特征量可减小误差,但从原理上,材质不同或对象物倾斜会导致感光波形出现位置偏差或波形混乱,从而产生测量误差
测量点错位问题
使用传统三角测距法时,随着高度不同,测量位置或光斑大小会发生改变。而光谱共焦传感器的同轴共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或翘曲,也可进行高精度的测量,测量点不会改变。
2、光谱共焦传感器可稳定测量任何材质表面
3、光谱共焦传感器*角度特性,zui大可测倾角87度
针对镜面、透明、半透明体表面也可以有*角度特性
传统三角测距法,测量镜面体时,对传感器的安装角度有苛刻的要求。在使用多头测量玻璃或柔性样品厚度的应用中,安装时必须对各个传感器进行高精度的角度调整。使用光谱共焦传感器,无需严格的角度调整就可进行高精度测量。即使被测物在运动过程中的跳动也不会对测量造成过大影响。
4、光谱共焦传感器可同时测量并输出位移和厚度
透明件的平整度和厚度可同时测量
镜面、透明、半透明体表面也可以有*角度特性传统三角测距法,测量镜面体时,对传感器的安装角度有苛刻的要求。在使用多头测量玻璃或柔性样品厚度的应用中,安装时必须对各个传感器进行高精度的角度调整。使用共焦位移传感器,无需严格的角度调整就可进行高精度测量。即使被测物在运动过程中的跳动也不会对测量造成过大影响。