L481111/RZQ立式真空烧结退火炉
该真空烧结退火炉是生产半导体器件和磁性材料烧结、退火工序中的重要设备。
主要技术指标：
1、工作温度：400～1250℃
2、单点温度控制精度≤±1℃/24h
3、恒温区长度：≥200mm/±1℃
4、升温功率：≤5KVA
5、升温时间：（室温至1050℃）≤75min
6、保温功率：≤3KVA
7、重新定值重复性：≤±1℃
8、重开机重复性：≤±1℃
冷态真空度：≤5 x 10-3Pa（打开扩散泵门后15min）
9、炉体传动升降分：自动及点动，速度无级调速，自动烧结烧结为0～30min
10、真空室尺寸：φ80㎜～φ300mm
11、设备外形尺寸：1703 x 703 x 2450 （mm）（长 x 宽 x 高）
12、重量：约600Kg
13、工作条件：（1）环境温度：10～45℃
（2）相对湿度：≤85%
（3）电网电压：220V ± 10% ～ 380V
立式真空烧结炉、单、双管卧式真空烧结炉、烧结炉、陶瓷烧结炉、链（带）式烧结炉、全功能微控扩散系统、真空扩散炉、高温扩散炉、烘焙排腊炉、单管氢气炉、真空烧结炉、双工位立式真空烧结炉、陶瓷金属化氢气烧结炉、马弗炉、消磁炉、、WDNI系列高精度电脑温度控制系统、WDNX多功能温度控制系统、全钽玻璃绝缘子熔封炉、PFJ-2型平行缝焊机、Y80-2/ RZQ加压检漏台、热稳态压力机
