质量流量控制器 库存 库号:D404976     质量流量控制器 库存 库号:D404976

D07-7是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以测量气体的质量流量 。D07-7产品是基础款产品，能满足大多数客户流量测控基本需求。

流量量程 0~5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm

产品精度±1.5％F.S.

重复精度±0.2% FS

线性±1％F.S.

响应时间≤10sec 气特性≤4sec

工作温度范围(5~45)°C

耐压3MPa

输入输出信号(0~+5)VDC

电源±15V

阀类型常闭

温度系数

零点飘移指标- 无 -

电气连接D sub 15 pins Female

工作压差范围(0.1～0.5) MPa

漏率1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）

标准接头形式双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头

表面化学成分- 无 -

表面粗糙度- 无 -

抗电磁干扰CE

重量 1.1kg