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产品名称:丹麦SENS4真空传感器VPM-5
产品型号:VPM-5
产品介绍
VPM-5传感器提供良好性能,并通过将可用的电导率真空测量仪的可用测量范围扩展到1-3年来建立了新标准技术,再加上新型的准确数字信号处理架构和创新测量算法。
丹麦SENS4真空传感器VPM-5 性能特点
l 超宽的测量范围为9年
l 通过S4-Connect USB程序员简化配置
l 0-10 VDC可编程电压输出
l 数字RS-232或RS485接口
l 稳定Zero漂移补偿
l 可选的固态设定点继电器用于过程控制
技术参数
产地:丹麦
磁滞1×10-3至10 MBAR(ISO19685:2017):1%
滞后10至1333 MBAR(ISO19685:2017):0.1%
模拟输出分辨率:16位(150 µV)
模拟输出更新率:124 Hz
响应时间(ISO 19685:2017):<20 ms
温度补偿:+10至+50°C
固态继电器设定点范围:5×10-6至1333 MBAR(3.75×10-6至1000 Torr)
固态继电器接触评级:50 V,100 MARMS / MADC
环境条件:
操作环境温度:-20至+50°C
介质温度:-20至+50°C
存储环境温度:-40至+120°C
烘烤温度(非操作):+120°C
安装位置:任意
湿度,IEC 68-2-38:98%,无调
电源:
电源电压:12-30 VDC
功耗:240 MW(max)
反极性保护:是
电压保护:是
内部保险丝:100 mA(可回收)
产品尺寸
产品应用
质谱仪
扫描电子显微镜
炉热处理
玻璃,光学,工具等的PVD涂层
制冷服务和制造
半导体处理