产品名称： SENS4真空计VPM-17 TriCAP

产品型号： VPM-17 TriCAP

产品介绍： VPM-17 TriCAP ATM 传感器为广泛的真空应用建立了一体化测量解决方案的新标准。与其他真空计不同的是，它结合皮拉尼热损耗测量（低至 1E-6 mbar），提供从 5.0E-3 到 1333 mbar 的高性价比气体独立测量。在气体成分或类型可能发生变化的真空应用中，传统的依赖气体的皮拉尼真空计会导致测量结果与实际压力产生偏差。然而，TriCAP ATM 传感器采用了电容式膜片真空计 (CDG) 传感器，由于不依赖于气体成分，因此即使气体性质发生变化，也能确保测量精度。集成的热损耗 MEMS Pirani 传感器将测量范围扩展至 1E-6 mbar，并提供新颖的电容式压力计自动调零功能，从而减免了传统电容式膜片真空计手动调零的常见需求。TriCAP ATM 是一款新型多传感器真空计，是传统皮拉尼真空计应用的性能升级之选，也是在单独使用电容式压力计和皮拉尼真空计的应用中成本优化的一体化解决方案。（文件）

SENS4真空计VPM-17 TriCAP 性能特点： 

测量范围为 1×10^-6 至 1333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 托）

与气体无关的传感器，测量范围从 5×10^-3 到 1333 mbar

超宽量程高性能 MEMS 皮拉尼传感器

坚固耐用的陶瓷电容隔膜真空计   

环境压力参考输出信号

大气开关功能

可安装在任何方向而不影响性能

可编程电压输出信号，可与其他供应商仿真

数字 RS-232 或 RS-485 接口

用于真空过程控制的三个固态设定点

可直接替换 MKS 901P Loadlock 传感器

紧凑型多传感器解决方案

选型指南： （图）

产品结构与细节： （图）

1 RS-232 发送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 电源电压 12-30 VDC

4 电源电压 -（返回）

5 模拟电压信号 +

6 模拟电压信号 - （返回）

7 继电器 1 NO（常开触点）

8 继电器 1 通用

9 继电器 1 NC（常闭触点）

10 继电器 2 NC（常闭触点）

11 继电器 2 共用

12 继电器 2 NO（常开触点）

13 继电器 3 NC（常闭触点）

14 继电器 3 共用

15 继电器 3 NO（常开触点）

可选功能与配件： 

编程设备

RS-232 转 USB，15 针 HD D-sub，电源（90-230VAC）PRG-WPRS2-15DS-01

RS-485 转 USB，15 针 HD D-sub，电源（90-230VAC） PRG-WPRS4-15DS-01

RS-232 USB 编程器，1.5 米电缆 PRG-RS232-DS15 RS-232

RS-485 USB 编程器，1.5 米电缆 PRG-RS485-DS15 RS-485

校准证书

DAkkS 实验室认可的校准证书。cal-vpm17-dakss

电缆

15 针 HD D-sub 母头至 15 针 D-sub 公头，带 3 m 电缆 CAB-F15DSM15DS-003

15 针 HD D-sub 母头转 15 针 D-sub 公头，带 5 米电缆 CAB-F15DSM15DS-005

15 针 HD D-sub 母头转 15 针 D-sub 公头，带 10 m 电缆 CAB-F15DSM15DS-0105

技术参数： 

产地：丹麦

测量范围：1×10^-6 至 1333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 托）

测量原理 1×10^-6 至 1×10^-3 mbar：MEMS 皮拉尼热导率

测量原理 1×10^-3 至 4.99×10^-3 mbar：MEMS 皮拉尼/CDG 混合读数

测量原理 5.0×10-3 至 3.99 mbar：电容式隔膜真空计 (CDG)

测量原理 4 至 6 mbar：混合 MEMS 压电/CDG

测量原理 6 至 1333 mbar：MEMS 压电电阻膜片

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5 mbar：读数的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99×10^-3 mbar：读数的 5 %

精度 1E-2 至 800 mbar：读数的 0.5 %

精度 800 至 1099 mbar：读数的 0.25 %

精度 1100 至 1200 mbar：读数的 0.5 %

气压测量范围：300 至 1200 mbar

气压精度：+/- 0.5 mbar

大气参考压力输出范围：-1333 至 + 1333 mbar

真空温度传感器范围：-20 至 + 85 ℃

真空温度传感器精度：+/- 1.5 ℃

传感器温度传感器范围：-20 至 + 85 ℃

传感器温度传感器精度：+/- 1.5 ℃

模拟输出分辨率：16 位 (150 µV)

模拟输出更新率：124 Hz

响应时间：< 20 ms

温度补偿：+10 至 +50 ℃

固态继电器设定点范围（Abs值）：5×10^-6 至 1333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 托）

固态继电器设定点范围（相对大气压）：-1,100 至 + 500 mbar（-770 至 +375 托）

固态继电器触点额定值：50 V、100 mArms / mADC

固态继电器触点耐久性：无限制（无机械磨损）

固态继电器认证：UL 认可： 文件 E76270；CSA 认证： 证书 1175739；EN/IEC 60950-1 认证

工作环境温度：-20 至 +50 ℃

介质温度：-20 至 +50 ℃

存储环境温度：-20 至 +80 ℃

烘烤温度（非工作）：+80 ℃

Max介质压力：4 bar压力_Abs

安装位置：任意

防护等级，EN 60529/A2:2013：IP40

湿度，IEC 68-2-38：98 %，无冷凝

电源电压：12 至 30 VDC

功耗：350 mW（Max值）

反限性保护：是

过压保护：是

内部保险丝：100 mA（可热恢复）

外壳：SS 1.4307 / AISI 304L / 铝 6061

真空工艺法兰（介质润湿）：SS 1.4307 / AISI 304L

工艺泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

符合认证CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS：欧盟指令 2015/863

产品尺寸： （图）

产品应用： 

PVD 涂层、冻干终点检测、负载锁定控制、熔炉热处理、皮拉尼校准、质谱仪、扫描电子显微镜