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低温真空泵 型号:AWR11-CP-200
库号:M293227
低温真空泵 (又称低温泵、冷泵、冷凝泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的容积式真空泵,是无油高真空环境获得设备。低温泵应用于半导体、集成电路、光电器件的制造工艺过程,是集成电路设备中的关键设备之一;低温泵也用于各种其它镀膜设备和真空应用设备中。
型号:AWR11-CP-200
抽速 Pumping Speeds (l/s):
For H2O 4200 For Air 1500 For H2 2500
For Ar 1200 For He 750
降温时间 Cool Down Time (min):≤ 90
泵口法兰 Inlet Flange ( 可根据用户要求定制 ) :ANSI 6 in. 或 CF 10 in. 或 ISO 200mm
适合应用于希望获得 10-1 Pa 至 10-9 Pa 真空度的场合,尤其适合应用于要求洁净无油和或快速抽气的场合,例如:
• 溅射镀膜 型号:AWR11-CP-200
• 蒸发镀膜
• 离子注入
• 分子束外延
使用以上设备的工业真空镀膜,例如:半导体与集成电路前工序、光学镀膜、太阳能电池板、光电子 器件和真空电子器件制造、平板显示器件镀膜
• 电子束设备
• 空间模拟装置
• 高能物理研究装置
• 加速器束流管
• 表面分析装置
• 质谱仪 型号:AWR11-CP-200
• 真空排气装置
• 其它高真空或高真空装置
的组成
由低温泵头、氦压缩机和金属软管三部分组成。