质量流量控制器

质量流量控制器

流量量程 0~5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
产品精度 ±1.5％F.S.
重复精度 ±0.2% FS
线性 ±1％F.S.
响应时间 ≤10sec 气特性≤4sec
工作温度范围 (5~45)°C
耐压 3MPa
输入输出信号 (0~+5)VDC
电源 ±15V
阀类型 常闭
温度系数
零点飘移指标 - 无 -
电气连接 D sub 15 pins Female
工作压差范围 (0.1～0.5) MPa
漏率 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式 双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头
表面化学成分 - 无 -
表面粗糙度 - 无 -
抗电磁干扰 CE
重量 1.1kg

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