真空传感器 仪表

真空传感器 仪表

技术指标
测量范围 1×10 -4 ～1000 Torr
1.3×10 -4 ～1333 mbar
1.3×10 -2 Pa～133 kPa
精度（N2） 10 -4 ～10 -3 Torr；0.1 mTorr分辨率
10 -3 ～400 Torr；±10%读数
400～1000 Torr；±2.5%读数
重 复 性 ±2%读数
工作温度 0～50℃
烘烤温度 150℃（表，电子元件移除）
工作湿度 0～95％RH，非冷凝
安装方向 水平（1 Torr以下安装方式无影响）
接液材质 镀金钨，304 和316 不锈钢，玻璃，镍，特氟龙
内部容积 26 cm 3 （1.589 in 3）
内部表面面积 59.7 cm 2（9.25 in 2）
泄 漏 率 ＜1×10 -9 atm cc/sec He
重 量 85 g（3 oz）

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