小型离子溅射仪

小型离子溅射仪

玻璃处理室：Φ100mm、高度130mm试样台尺寸：Φ40mm可同时放6个样品杯金靶尺寸：Φ58mm真空系统：直联旋片真空泵2L／S真空检测：皮氏计真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气进气口和微量充气调节

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