自动磁控离子溅射仪 仪表

自动磁控离子溅射仪 仪表

输入电压 AC220V±10%，50Hz

工作电压 DC600V

大功率（主机与机械泵） 450W

可选靶材 金、铂、银、铜、钛、铅等常用金属

真空泵 两级直联旋片式真空泵 1L/s

真空腔 约φ125×125mm

样品杯 φ64×1

整机尺寸（长×宽×高） 424×271×255（mm）

重量（主机） 11 kg

工作环境 温度 5～40℃，湿度<60%

存储环境 温度-10~60℃，湿度<80%

工作气体 Air / Ar

保护功能 过流、真空双保护

磁控离子溅射仪    磁控离子溅射仪    磁控离子溅射仪     磁控离子溅射仪      磁控离子溅射仪

磁控离子溅射仪    磁控离子溅射仪    磁控离子溅射仪     磁控离子溅射仪      磁控离子溅射仪

磁控离子溅射仪    磁控离子溅射仪    磁控离子溅射仪     磁控离子溅射仪      磁控离子溅射仪

磁控离子溅射仪    磁控离子溅射仪    磁控离子溅射仪     磁控离子溅射仪      磁控离子溅射仪

磁控离子溅射仪    磁控离子溅射仪    磁控离子溅射仪     磁控离子溅射仪      磁控离子溅射仪

磁控离子溅射仪    磁控离子溅射仪    磁控离子溅射仪     磁控离子溅射仪      磁控离子溅射仪