Automated Langmuir Probe（ALP） SystemTM全自动朗缪尔体探针系统（简称ALP系统）
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上海锦流源电子仪器有限公司
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Im Impedans 全自动朗缪尔体探针系统（以下简称ALP系统）可以对以下主要等离子体参数等进行实时在线监测：等离子体密度；电子温度；离子电流密度；等离子体电位；悬浮电位；电子能量分布函数（EEDF）。ALP系统可提供对直流、脉冲直流、微波和射频等离子体的诊断测试。探针轴的标准长度为300mm，也可根据需求延长至1.4m。凹形探头，支架能够有效防止在探针采集区域由于溅射导电层引起的增量。探头可自动清洁；时间分辨测量；空间分布测量；直流补偿；射频补偿；高级厢车。
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