产品简介
MEMS加速度传感器是采用MEMS（微机械）和IC（集成电路）加工工艺生产的新型。它具有集成电路系统的许多优点，吸收了多种学科发展的*成果
详细介绍
微型化：由于采用芯片级的封装，MEMS器件具有体积小、重量轻、功耗低、谐振频率高、响应时间短、易集成等特点
机械电气性能优良：硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度接近铝，热传导率接近钼和钨，具有很好的抗冲击性能及环境适应能力。
低成本：用硅微加工工艺在一片硅片上可以同时制造出数千个微机械部件或完整的MEMS芯片，批量生产可以大大降低生产成本。
