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产品特点：
| 产品 | FS1015CL | 单位 | |
| 流量范围 | 0~150 | SLPM | |
| 精度 | ±（1.5±0.1FS） | % | |
| 重复性 | ±0.75 | % | |
| 响应时间 | 10（Max.） | msec | |
| 工作电压 | 5±1% | Vdc | |
| 输出方式 | 线性，模拟电压0.5~4.5Vdc | ||
| zui大压损 | 500 | Pa | |
| zui大工作压力 | 0.2 | MPa | |
| 工作温度 | -10~55 | oC | |
| 储存温度 | -20~65 | oC | |
| 工作湿度 | <95（无结冰、无凝露） | %RH | |
| 机械接口 （入口:外;出口:内）； | ISO-15 | ||
机械尺寸：
