全自动离子溅射镀膜仪型号:HHD3-Cressington 108A库号：M346248
技术参数：
1.样品仓尺寸：120mm x 120mm，高强度不锈钢玻璃结构；
2.样品台：可放置12个标准SEM样品座，可调高度优于50mm；
3.溅射头：低电压平面磁控管，靶材换快速，环绕暗区护罩；
4.溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空联锁装置，大180A，配有过流保护；
5.溅射控制：微处理器控制，互锁，可调，大电流40mA，程序化数字控制；
6.靶材可选：Au、Pt、Ag、Cr、Cu、Fe等；
7.镀膜均匀性好，电流回路控制，低压直流冷态溅射镀膜，避免样品微纳结构热损伤；
8.真空系统：真空值优于10-3mbar，机械泵抽速可达4.0m3/h
9.电源：200-240 VAC,50/60Hz
样品仓尺寸120 mm x 120mm,高强度硼硅酸盐钢化玻璃结构(可选150mm)
样品台可放置12个SEM样品座，可调高度优于60mm
溅镀优点基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空联锁装置，
大180A，配有过流保护
溅射控制程序化数字控制，恒流设计
溅射头低电压平面磁控管，靶材换快速，环绕暗区护罩
靶材标配金或铂，可选金/钯，铂/钯,银,铜,镍,铁等
溅射速率优于2.3nm/s(根据不同条件可调)
真空系统原装真空泵,降噪减震设计,10-3mbar真空度
适用配套Thermo Fisher/FEI,Shimadzu,Carl Zeiss,JEOL,Hitachi,Tescan,Phenom等
电镜和电子探针系统以及电极薄膜制备
序号名称描述数量
1 108A主机高性能离子溅射镀膜仪是用于扫描电镜非导电样品的镀膜设备。经济紧凑型设计容易操作，提供了快速抽真空时间，镀膜设计和对样品无热损伤。的互锁技术提供了可灵活设定不会受真空压力影响的溅射电流。通过一个低压磁控管进行冷态溅射，喷镀。1
2靶材Pt铂靶1
3样品仓120mm x 120mm，高强度硼硅酸盐钢化玻璃结构1
4样品台可放置12个SEM样品台，可调高度为60mm 1
5操作手册中/英文操作手册;1
6泵高性能真空泵系统
4m3每小时抽速，10-3mbar真空度，附带减震垫的桌面式设计1
7 KF16连接装置全金属连接耦合系统1
8油污过滤器进口高性能油污过滤器