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超纯水设备的工艺流程通常包括预处理系统、反渗透系统、电离交换系统（如混合床、EDI装置等）、紫外线杀菌器、精密过滤器等步骤。预处理系统主要用于去除水中较大的颗粒、悬浮物和部分有机物，反渗透系统则进一步去除离子物质和大分子物质。电离交换系统通过树脂去除水中的离子，确保水的离子含量降低到痕量水平。紫外线杀菌器和精密过滤器则用于确保超纯水中不含有微生物和有机物，满足各类实验和应用需求。
反渗透技术：这是超纯水设备的关键技术之一。反渗透是一种将水通过半透膜进行分离的过程。在反渗透过程中，水被压力推动穿过半透膜，而其中的杂质则被过滤掉，从而收集到纯净的水。反渗透膜的孔径非常小，约为0.0001微米，能够有效去除水中的离子物质和大分子物质，如病毒和微生物
电离交换技术：电离交换是通过树脂来去除水中离子的过程。水通过装有树脂的容器时，树脂中的离子会与水中的离子进行交换，从而去除水中的杂质。这种技术进一步提高了水的纯净度
超滤技术：超滤是一种将水通过微孔直接过滤的技术。这种技术能够过滤掉水中的大分子物质，使水变得更加清澈。
