NTC WAFER 热电偶晶圆测温系统 

TC Wafer晶圆测温系统主要利用热电偶或热电阻等高精度温度传感器来测量晶圆表面的温度。当晶圆表面温度发生变化时，传感器会产生相应的电信号，这些信号经过数据采集模块处理后，由软件控制系统进行显示、存储和分析。系统还能够根据需要进行温度校准和补偿，以提高测量的准确性和可靠性。

智测电子TC-WAFER晶圆测温系统还具备监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化的功能，确保了制造过程的稳定性。特别适用于半导体制造厂Fab、PVD/CVD 部门、RTP部门等场合，让您能够实时了解晶圆的温度情况，提高生产效率，降低不良品率。

我们的产品不仅具备出色的性能，还具有简洁易用的操作界面，方便您快速上手。我们的研发团队将持续改进产品性能和功能，以满足不同客户的需求，确保您拥有zuixianjin的技术支持。

让您不再为晶圆温度的监测而烦恼，让您的生产过程更加稳定高效。现在就让智测电子TC-WAFER晶圆测温系统为您的半导体制造过程带来**性的变化吧！

高低温晶圆探针台需要确保

1） 温度的均匀稳定性；为晶圆测试提供精确的温度环境，既反应探针台机械的稳定性，又是影响测试数据真实结果的关键；

2） 升降温速率；探针台的升降温速率也是一项重要的指标。低温测试时，避免空气中的水蒸气在样品上凝结成露水，从而避免漏电过大或探针无法接触电极而使测试失败。同时，在真空环境中，传热的方式作用下，能更有效的提高制冷效率。高温测试时，在真空环境下，也能有效减少样品氧化，从而避免样品电性误差、物理和机械上的形变。

智测电子TC-WAFER晶圆测温系统应用于高低温晶圆探针台，测量精度可达mk级别，可以多区测量晶圆特定位置的温度真实值，也可以精准描绘晶圆整体的温度分布情况，还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化，了解升温、降温以及恒温过程中设备的有效性。

智测电子还提供整个实验室过程的有线温度计量，保证温度传感器的长期测量精度。

合肥智测电子致力于高精度温测、温控设备的生产和研发定制，为半导体设备提供可靠的国产解决方案。

NTC WAFER 热电偶晶圆测温系统