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大型真空探针台
真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到400℃，低温部分采用液氮或液氦冷却组件，温度可低至-196℃，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。
高低温真空探针台应用：
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
大型真空探针台技术参数
真空腔体 | |
腔体材质 | 304不锈钢 |
上盖开启 | 铰链侧开 |
加热台材质 | 304不锈钢 |
内腔体尺寸 | φ160x90mm |
观察窗尺寸 | Φ70mm |
加热台尺寸 | φ60mm |
观察窗热台间距 | 75mm |
加热台温度 | ﹣196~350℃ |
加热台温控误差 | ±1℃ |
真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允许正压 | ≤0.1MPa |
真空抽气口 | KF25真空法兰 |
气体进气口 | 3mm-6mm卡套接头 |
电信号接头 | SMA转BNC X 4 |
电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
探针数量 | 4探针 |
探针材质 | 钨针 |
探针尖 | 10μm |
探针移动平台 | |
X轴移动行程 | 30mm ±15mm |
X轴控制精度 | ≤0.01mm |
Y轴移动行程 | 13mm ±12.5mm |
Y轴控制精度 | ≤0.01mm |
Z轴移动行程 | 13mm ±12.5mm |
Z轴控制精度 | ≤0.01mm |
电子显微镜 | |
显微镜类别 | 物镜 |
物镜倍数 | 0.7-4.5倍 |
工作间距 | 90mm |
相机 | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
图像接口 | VGA |
LED可调光源 | 有 |
显示屏 | 8寸 |
放大倍数 | 19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
