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二维倾斜台是通过压电陶瓷驱动进行精密θx, θy角度调整,内部采用无回差柔性铰链并联结构设计,产品较高的偏转精度和高的稳定性且响应速度快,是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择.
二维倾斜台产品特性:
• 高速响应;
• 压电陶瓷驱动;
• 光束偏转至10毫弧度,分辨率为50nrad
• 活塞运动到 30 微米 (对于路径⻓度调节)
• 紧凑型三脚架设计带共面轴消除偏振旋转
• 亚毫秒响应
• 闭环精度更高
• 为后视镜到25毫米(1“)直径
• 无摩擦,高精度柔性导向系统 ,并联运动对增强动力和更好的多轴精度。