基板尺寸 Maximum board size 510*510mm

最小基板尺寸 Minimum board size 50*50mm 基板厚度尺寸 Board thickness 0.4~6mm 取像机械范围 Camera Mechanical range 510*510mm 基板重量 Maximum board weight 5kg 基板边缘间隙 Board edge clearance 2.5mm

过板高度 Board height 23mm 超出***顶pin 传输高度 Transport speed 900 ± 40mm 传输速度 (Max) Transport speed 分段控制，1500mm/s (Max) 传输方式 Transport direction 一段式运输导轨 One stage 传输方向 Transmission direction 左至右 Left to right 右至左  Right to Left 同进同出 In and out the same

基板支撑方法 Support System 磁性顶针 （65mm） Magnetic Pin 等高块 （65mm） Support Block 自动调节顶升平台  Manual Up-down table 基板夹持 Board clamp 自动伸缩式上压片 Automatic top clamping 柔性边夹  Side clamping 真空吸附功能 Adsorption function