自由曲面透镜测量仪
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湖南省流丰机电科技有限公司
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轮廓测量单元
应用领域:适用于高精密光学零件的自由曲面的测量。
性能特点:
1. 可以提供球面元件、非球面元件、衍射元件及自由曲面等面的三维光栅 及径向分析;
2. 可以测量环面、双锥面、合成非球面、椭球面、NURBS样条曲面、非球面柱面 、点云以及Zernike定义的曲面等;
3. 测针测量范围可达到28mm,分辨率可达0.8nm,测量角度到达50°,面型误差小于150nm。
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