主要性能特征
对射式非接触式同轴激光位移传感器测量
直线电机高精度龙门运动机构
兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量。
共面气浮移动轴承确保样品的移动获得的平面度及平顺性
兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)
晶圆的测量厚度范围为10um-20mm
抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架
扫描速度1m/s
可自定义生成快速便捷的自动化测量模式
直观简单的2D或3D数据呈现方式
适用于厚度， TTV， LTV， TIR， Sori， Taper， Bow和Warp测量参数及标准

测量参数

激光测量技术


平面气浮轴承技术

气浮轴承是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。
我司使用的为特殊设计加工的预压式气浮轴承，具有高刚性、高平面度、免维护、使用寿命长等特点，可确保设备24小时连续工作无异常，最长设备使用寿命达到10年。


外形尺寸图
选型要求
1、可根据客户要求定制不同的治具，兼容不同形状及尺寸的晶圆或其它产品。可选配自适应工装，自动调整尺寸满足连续生产要求。
2、设备适用于洁净度高于1000级或以上无尘室，设备使用环境温度：20-25±0.3摄氏度(1小时连续变化温度不超过1摄氏度)，如客户使用环境无法达到使用要求，可选配完整机罩或局部恒温系统。
3、设备使用中需要提供稳定气源，气源要求如下：