MS LM-100X 100-XY-E 50
匹配显微镜型号:
OLYMPUS BX 51/ 53
ZEISS AXIO SCOPE A 1
NIKON Ci
舜宇RX50
接受其它显微镜型号定制MS LM-100X 100-XY-E 50工业显微镜直线电机平台是专门针对工业级(及金相显微镜) 研发设计的产品, 相比传统的丝杆驱动平台,它具有精度更佳、响应更快、速度更高、寿命更长的优点。而且由于直线电机属于非接触式直驱机构,几乎无噪音,是传统显微镜平台的优化升级产品。
主要尺寸及性能参数:●行程:100mmx100mm
●光栅分辨率:50nm
●最小步长:100nm
●重复定位精度:≤±250nm
●速度:≥300mm/s
●导轨类型:交叉滚柱导轨
●负载:≥5kg
●直驱机构,无回程间隙
●主体材质:航空级铝合金
●表面处理:上滑台面喷砂及硬质阳极氧化,其余结构件普通阳极氧化
产品型号命名规则:①MS LM是直线电机显微镜平台的英文宿写
②100x100代表着该型号产品的有效行程,单位mm,如需其它行程,可联系厂家沟通定制
③XY代表工作轴方向及类型,默认按照笛卡尔坐标系确认方向
④E50代表该型号产品光栅的分辨率,单位nm,默认产品分辨率为50nm,可选20nm/100nm/0.5um/1um/5um等,分辨率的改变会导致平台速度以及重复定位精度的变化,详细情况请进一步咨询厂家
特别注意事项:1、直线电机平台属于高精度精密设备,因此如果希望得到性能,需要保证足够的使用环境,尤其在使用要求重复定位精度小于1um的设备上,所有指标的复现都需要满足一定的温度、湿度、气压、振动等,详细要求可进一步联系厂家咨询沟通
2、所有平台可单独订购, 如对设备的精度以及性能要求较高, 推荐使用奥正智能自主生产的MCS控制器系列, 搭配MCS系列控制器出货的产品, 在出厂检验中都会做针对性的优化和校准, 是您高要求使用的。