回收丨泰克吉时利Keithley 4200A-SCS 参数分析仪

4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成 的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为高性能的参数分析仪， 4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。

源测量单元(SMU)

l ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块

l 100 fA测量分辨率

l 选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率

l 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量

l 100 μF负载电容

多频率电容单元(CVU)

l AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)

l 1 kHz - 10 MHz 频率范围

l ± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V 差分)

l 选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)

l 200 MSa/s，5 ns 采样率

l ±40 V (80 V p-p)，±800 mA

高压脉冲发生器单元(PGU)

脉冲式 I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU)

V/C-V 多通道开关模块 (CVIV）

远程前端放大器 / 开关模块 (RPM)

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