超声扫描显微镜AW™系列
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上海舜建仪器有限公司
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超声扫描显微镜AW™系列，容量大,产能高,灵敏度高。
AWTM系列产品是专门为粘合晶圆及硅片设计的全自动 C-SAM®系统,容量大,产能高,灵敏度高。通常用来检 测SOI,MEMS等晶圆。由于这些材料对超声波几乎是透明 的,Sonoscan利用自己专门研制的高频探头进行分析, 以获取精细的图像。AW系列能够探测直径小于5微米 的空洞和薄如200埃的分层。
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