产品简介
用途：Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD特点：IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能，适用于严苛制程。它优良的性能源自于转子排气路径和*的转子型线设计。汉钟型线设计，上海，中国台湾，制造。较之前的版本节能25%，配置有省电模式。带有加热系统避免制程物沉积。优化的尺寸，即插即用。
详细介绍
用途：Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD特点：IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能，适用于严苛制程。它优良的性能源自于转子排气路径和*的转子型线设计。汉钟型线设计，上海，中国台湾，制造。较之前的版本节能25%，配置有省电模式。带有加热系统避免制程物沉积。优化的尺寸，即插即用。
