成都真空厂家 surpass大口径干法刻蚀机装备

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成都真空设备厂家 surpass大口径干法刻蚀机装备 大口径 高均匀性特殊微纳结构 基片刻蚀 可定制

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成都汉普升科技有限公司,成立于2015年11月16日,致力于电真空、核级装备、人工晶体材料及薄膜制备设备的技术提升,在服务领域深耕细作,具有较深的技术沉积。

公司成立以来,在自己所擅长领域为客户提供优良的产品和技术解决方案,公司注重产品和运营模式创新,我们坚信:唯有创新方能给用户增值,公司已与多家科研院所、高等院校及企事业单位进行横向合作,形成了科研级、工业级产品体系,已为客户设计制造了多套专用设备和仪器,获得了用户广泛赞誉。

●Surpass系列 干法刻蚀机,特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀,刻蚀尺寸可达φ2500mm,通过高密度等离子体及离子浓度修正系统,可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标,满足大口径基片刻蚀的需求。


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