制氮机的氮气纯化装置采用的是碳燃烧除氧法，根据氮气中杂质氧的含量，加入适量的钯碳纤维在催化剂的作用下，经过相应化学反应脱氧后，氮气中氧含量可小于0.1PPM，脱氧后的氮气经过冷却后进入装有分子筛器吸附器内，氮气中的水分和二氧化碳被分子筛深度吸附，经过滤后可获得高纯度的氮气。

  氮气纯化装置的特点：

氮气纯化装置的干燥器采用内筒加热气流的结构，避免了加热元件的局部过热，使干燥器内的分子筛加热均匀，同时具有气流介质和筒壁两种效应加热分子筛床层，温度梯度严格控制在工艺要求范围之内.

  该装置由一级吸附罐和二级吸附罐串联而成,高纯氮气经液氮储罐气化后,经一级减压阀减压,经一级吸附罐底部氮气进口进入一级吸附罐,一级吸附罐顶部氮气出口与二级吸附罐底部的氮气进口相连,二级吸附罐顶部氮气出口与高纯氮气主管道相连.一级吸附罐和二级吸附罐内装填活性炭,用于吸附高纯氮气中的烷烃类,油类杂质.一级吸附罐和二级吸附罐上下各安装一块孔板和5块导流板,主要用于高纯氮气的均匀分布以及延长高纯氮气与活性炭的接触时间.二级吸附罐氮气出口处预留高纯氮气取样口,用于取样检测高纯氮气纯度及杂质含量.