半导体冷水机低温冰水机Chiller ZL系列-成都中冷低温科技有限公司手机版

产品简介

半导体冷水机低温冰水机Chiller ZL系列，应用与半导体生产过程中及测试环节的温度控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

详细介绍

半导体冷水机低温冰水机Chiller ZL系列

本设备性能优异，体积小、噪音低、耗电量低、热效率高且可根据需求定制，控制精度可达±0.05℃，适用于温湿度控制良好的环境，具有定时运转、温度补偿、实现自我诊断等功能，且可实现过热、过载、缺水等多重报警功能，远程控制方便，可以实现RS232、RS485、ETH等多种不同通讯方式控制。

温控精度（空载时）±0.05℃

触摸屏操作，人机交互界面

连锁控制、可靠性高

定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

温度波动小

占地面积小、保护装置

快速升温/降温、提高生产效率、降低运营成本和保障生产

运行稳定、准确控温

半导体冷水机低温冰水机Chiller ZL系列

应用领域