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| 型号 | HD-50D | HD-90D | SMU-180D |
| 相机 | 2000万像素超清工业数字相机 | ||
| 镜头 | 双远心镜头 | ||
| 光源系统 | 远心平行底光+表面环光+同轴光+升降环光升降环光(0°/45°) | ||
| Z轴移动行程 | 45mm | 55mm | 100mm |
| 载物台承重 | 15KG | ||
| 视野 | 42×35mm | 90×60mm | 180×130mm |
| 重复性精度 | ±1.5μm | ±2μm | ±5μm |
| 测量精度 | ±3μm | ±5μm | ±8μm |
| 测量软件 | IVM-2.0 | ||
| 测量模式 | 可同时测量单个或多个样品 | ||
| 测量速度 | 1-3S/100尺寸 | ||
| 电源 | AC220V/50Hz,200W | ||
| 操作环境 | 温度: 22℃±3℃ 湿度: 50～70% Vibration: <0.002mm/s, <15Hz | ||
| 重量 | 35KG | 40KG | 100KG |
| 质保 | 12个月 | ||
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