高速扫描电子显微镜HEM6000-国仪量子（合肥）技术有限公司手机版

高速扫描电子显微镜HEM6000

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2024-05-15 08:03:53: 153

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产品简介

高速扫描电子显微镜HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜，采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率；面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。

详细介绍

	电子过滤系统 SE/BSE信号自由切换，MIX成像信号比例可调
	高速扫描驱动器驻点时间10 ns/pixel，采集速度2*100 M pixel/s
	浸没式电磁复合物镜物镜磁场浸没样品，实现了低像差高分辨率
	全静电高速偏转系统可实现高分辨大场模式，4 nm像素点视场达32*32 um²
	样品台减速技术降低入射电子落点电压，同时提高回收电子的收集效率

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