X轴坐标行程 (mm)

150

200

250

300

400

Y轴坐标行程 (mm)

100

100

150

200

300

金属台面尺寸 (mm)

354×228

404×228

450×280

500×330

606×466

玻璃台面尺寸 (mm)

210×160

260×160

306×196

350×250

450×350

X、Y轴坐标分辨力 (μm)

0.5

0.5

0.5

0.5

0.5

示值误差(μm)

E1XY=(2.5+L/100)

Z轴坐标行程 (mm)

100 (调焦)

100 (调焦)

100 (调焦)

100 (调焦)

100 (调焦)

仪器重量（kg）

160

160

180

250

250

仪器尺寸 (mm)

780×780×1100

810×780×1120

810×780×1120

900×780×1020

1040×780×1120

投影屏

尺寸 (mm)

Ф 312，使用范围>Ф300（刻有米字线）

旋转范围

0~360°

旋转分辨力

1' or 0.01°

物镜

放大倍数

10× (选)

20× (选)

50× (选)

100× (选)

物方视场 (mm)

Ф30

Ф15

Ф6

Ф3

工作距离 (mm)

77.7

44.3

38.4

25.3

测量高度(mm)

90

90

90

90

仪器电源: AC 100-240V 50/60Hz，总功率: 400W