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410-5000nm 自/互相关仪 脉宽范围10fs-300ps
面议横河通用光谱分析仪 600-1700nm 高波长精度±0.01nm
面议夏克-哈特曼SWIR短波红外传感器 600fps全帧
面议夏克-哈特曼SWIR短波红外传感器 分辨率320x256
面议CO2激光光谱分析仪 工作波段9.1-11.3μm 分辨率3nm
面议光束分析仪 光谱响应350-1600nm 动态范围16bit
面议数字示波器 100MHz/200MHz/350MHz/500MHz/1GHz带宽可选
面议50mm F/3.5 UV 紫外相机镜头 光圈范围F/3.5-F/16
面议105mm F/4 UV 紫外相机镜头 光圈范围F/4.0-F/22
面议78mm F/3.8 UV 紫外相机镜头 光圈范围F/3.8-F/16
面议25mm F/2.8 UV 紫外相机镜头 光圈范围F/2.8-F/16
面议12mm F/2.8 UV 紫外线石英透镜组件 光圈范围F/2.8-F/16
面议基于激光的观测系统,门设计用于显示基于电介质/压电的高频设备的表面声波 surface acoustic wave(SAW)和体声波 Bulk Acoustic Wave(BAW),如SAW滤波器(Interdigital Transducer 叉指换能器 IDT)和薄膜体声波谐振器(FBAR)
基于激光GHz声波振动观测系统 500MHz ~ 6GHz,基于激光GHz声波振动观测系统 500MHz ~ 6GHz适用于不同频率下物理声波传播的分析
短时间广域观测
图像 FFT & IFFT 处理
观察示例
IDT
FBAR
参数
振动检测方法 | 基于Sagnac干涉仪的振动检测(峰值频率灵敏度:5GHz) |
振动观察法 | 用激光光束探测的台控扫描观测(面外振动) |
观测光源 | 二管激光器(波长:650nm典型),照明LED |
可用物镜 | ×20、×50、×100 物镜 |
可观察到的频率 | 500MHz ~ 6GHz (Typ.) |
驱动信号输入范围*1 | 500MHz~6GHz (-120dBM~+15dBM) *2 |
Max. 可分析区域 | 25mm × 25mm |
容许工作量 | Max. 8英寸晶圆片 |
样品台 | 电动X-Y型载物台 |
主要软件功能 | 基于采样阶段控制的预设区域扫描观测 |
2维 ⇔ 3维观察结果指示(in Movie) | |
二维FFT⇔FFT图象处理 | |
基于FFT结果的特定振动共振模式滤波 | |
面外轴倾角校正 | |
基于预设频率表的连续数据采集 | |
构造 | 主体/电气单元/信号发生器/锁相放大器/驱动器/ PC /软件 |
*1 提供高频探测装置。(手动探测) *2 提供输入信号放大器。 |
更新时间:2023/7/25 16:49:09