品牌
其他厂商性质
北京市所在地
μPhase® Vertical 干涉仪是泰曼格林型相移式干涉仪,可转成菲索型，可用于测量光学反射面的面形、光学零件或系统的透过波前。
产品特点
适用于厂房、车间、实验室的标准干涉仪检测系统
立式检测，结构紧凑,占地面积小
配有Z轴方向运动的电动平台，也可选配二电动平台用于放置CGH
可测量反射率0.3...99%的光学表面
配有精密倾斜平移样品调整台
可完成各种类型的反射与透射检测
可采用透射法检测双胶合透镜
镜头口径：10mm、50mm或100mm
集成半径测量单元
可选CGH,用于测量非球面、柱面、轮胎面等
曲率半径实现一键式自动测量
可配自动样品托盘用于批量检测
产品技术指标
| 测量原理 | 泰曼格林型相移式干涉仪,可转成菲索型 |
| 测量能力 | 光学反射面的面形、光学零件或系统的透过波前 |
| 激光波长 | 标配632.8nm,335...1064nm间波长可选 |
| PV重复精度 | λ/400(λ=632.8nm) |
| RMS重复精度 | λ/6500(λ=632.8nm) |
| 测量不确定度 | λ/20(λ=632.8nm) |
| 相机分辨率 | μPhase® 500:500×500像素 μPhase® 1000:1000×1000像素 |
| 数字化位 | 8位 |
| 激光器类型 | 稳频氦氖激光器 |
| 激光器防护等级 | 3A |
| 产品尺寸 | 121×97×56mm |
