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■ 重点注意事项：
1 、人流
1-1 、人员净化：
1-2 、洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时，应设气闸室；
1-3 、单人空气吹淋室，应按班人数30人设一台。洁净室人员超过5 人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门；
1-4 、空气吹淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措施；
1-5 、空气洁净度等级为5级或严于5 级的垂直单向流洁净室，宜设气闸室。
2 、物流
2-1 、 洁净室 内的设备和物料出入口，应独立设置，并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。
2-2 、物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。
3 、静压差
3-1 、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa；
3-2 、洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa；
3-3 、洁净室与室外的静压差应大于10Pa。
4 、根据生产要求需设计相应防静电设施。
5 、 电子工业洁净室空气洁净度等级表 ：
注：按不同的测量方法，各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。
