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可见光靶标
可见光靶标主要分为两类：A)反射式靶标，B）透射式靶标。反射式靶标无法提供高精度的靶标图形因此只能用于可见光成像系统简单的评估测试。透射式靶标的精度可以达到次微米级，通常采用在干净的玻璃基板上光刻的方法而得到。Inframet采用USAF 1951靶标，其具备很好的通用性，既支持低分辨率相机测试，也同时支持高分辨率相机测试。
参数 | 数值 |
图案类型 | 3杆 |
图案组数 | 0到7 (可选0-8) |
空间频率范围 | 1-228lp/mm (可选1-456lp/mm) |
对比度 | 2%到99% |
基板 | 钠钙玻璃 (可选石英) |
图形镀膜 | 铬 |
靶标板尺寸 | 23x23 mm |
