制备混合气仪器 实验室智能气体配比器
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KT-MQ1制备混合气仪器 实验室智能气体配比器

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产品简介

制备混合气仪器 实验室智能气体配比器
智能气体混合配比器(Mass Flow Meter 缩写为MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量;质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。

详细介绍

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制备混合气仪器 实验室智能气体配比器

智能气体混合配比器(Mass Flow Meter 缩写为MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量;质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。

它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括; 电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器

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