高速横向减薄机

高速横向减薄机

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2023-02-14 08:28:14
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深圳市大精抛光设备有限公司

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产品简介

高速横向减薄机

详细介绍

高速横向减薄机
主要用途：
非常适合于工件硬度比较高，厚度超薄，且加工精度要求高的产品。如：LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、陶瓷片、钨钢片等各种材料的快速减薄。
 
工作原理：
1．本系列横向研磨机为精密磨削设备，由真空主轴吸附工件与金刚石磨轮作相反方向高速磨削，金刚石磨轮前后摆动。该方法磨削阻力小、工件不会破损，而且磨削均匀生产效率高。
 
特   点：
1．可使工件加工厚度减薄到0.02mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。
2．减薄效率高，LED蓝宝石衬底每分钟可减薄48um。硅片每分钟可减薄250um。
3．系列研磨机采用CNC程控系统，触摸屏操作面板。
 
技术参数：
型    号
FD-150LX
FD-180LX
FD-200LX
FD-230LX
金刚石磨轮尺寸
φ150×H25
φ180×H25
φ200×H30
φ230×H30
工件尺寸
φ150mm
φ180mm
φ200mm
φ230mm
磨轮转速（可调）
0---1000rpm /分钟
0---1000rpm /分钟
0---800rpm /分钟
0---800rpm /分钟
工件转速（可调）
0---2000rpm /分钟
0---2000rpm /分钟
0---1800rpm /分钟
0---1800rpm /分钟
磨轮电机功率
1.5KW. 380V 3相
1.5KW. 380V3相
2.2KW. 380V 3相
2.2KW. 380V 3相
真空主轴电机功率
0.75KW. 380V3相
0.75KW. 380V3相
1.1KW. 380V3相
1.1KW. 380V3相
控制精度（平行度）
1um（φ100mm）
1um（φ100mm）
1um（φ100mm）
1um（φ100mm）
外形尺寸
1200×550×1550
1200×550×1550
1350×600×1600
1350×600×1600
重   量：
850kg
980kg
1100kg
1300kg
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