真空等离子表面清洗机由电器控制及操作系统、真空系统、供气系统、13．56MHz射频电源、真空泵等部分组成。利用等离子体活泼的物理化学电磁流体特性，可以实现一系列传统湿法处理所不能实现的反应过程和处理效果，等离子表面清洗作为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式 ， 可以有效去除表面污染物，实现去除分子水平污染物的一种工艺过程，同时也可提高其表面活性。
真空等离子表面清洗机产品特点：
♦射频电源功率0到600W可调，频率为13.56MHz，同时采用电源匹配系统来调节负载阻抗，以保证的等离子密度和可重复性。
♦电极板主体由不锈钢材料制成，通过电极接头可选择的与电源正极或负极连通，电极板由两侧的绝缘块固定在真空腔体中，整个电极系统可跟据不同需求选择电极板的极性与间距，以获得最合适的等离子体。
♦供气系统采用高精度流量计来精确调节工作气体的流量，同时采用高稳定性的真空泵来实现废气的均衡排放。
♦高可靠性和稳定性、高效的功率输出、紧凑的结构设计、体积小、重量轻、完善的保护功能等特点。
♦前设开门，后方开排气孔、电源线孔，侧面开进气孔，以便于形成动态循环、均匀进气提高清洗的效果。
♦两路独立的气路控制便于探索不同气体配比对清洗效果的影响。
♦真空室材料选用材料为316不锈钢作为放电腔体，耐腐蚀性能好、耐热性强、低温情况下的强度好，冲压弯曲等热加工性好，无磁性。
真空等离子表面清洗机的运行过程如下：
（1）被清洗的工件送入真空室并加以固定，启动运行装置，开始排气，使真空室内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要2min。
（2）向真空室引入等离子清洗用的气体，并使其压力保持在100Pa。根据清洗材质的不同，可分别选用氧气、氢气、氩气或氮气等气体。
（3）在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而发生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体笼罩住被处理工件，开始清洗作业。一般清洗处理持续几十秒到几分钟。
（4）清洗完毕后切断高频电压，并将气体及气化的污垢排出，同时向真空室内鼓入空气，并使气压升至一个大气压。
真空等离子表面清洗机应用领域：
电子行业：LED支架、IC等的清洁和焊接性增强处理;电子元器件的绑定性增强;陶瓷基板的激活；
包装行业：PET、PP、OPP等粘胶前的表面处理，大大降低胶水的使用成本
印刷行业：金属、玻璃、橡胶、塑料、复合材料等表面丝印、移印前的等离子处理后，提高油墨的附着力;
汽车行业：车灯粘接、镀铝，注塑，刹车片保险杠、引擎控制盖经等离子处理后绑定性更加牢靠;车身及零部件的喷漆、镀膜预处理
塑料行业：塑料与橡胶、金属、玻璃等的粘接预处理;玩具、手机壳、电脑壳等喷漆前预处理，可提高油墨附着性；
真空等离子表面清洗机是通过等离子所含活性粒子与污染物分子反应或利用产生的粒子轰击被清洗表面，使污染物从被清洗表面分离的清洗方法，需要指出的是通过化学反应或者物理轰击，也会对被清洗表面改性，提高润湿性和膜的附着力。 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
| 等离子体发生器 | 功率 | 0-600W可调 |
| 频率 | 40KHz/13.56MHz |
| 抗辐射干扰高频匹配器 | 自动抗阻匹配，远程通信控制 |
| 真空反应腔室 | 腔体内部尺寸 | 450*450*500（宽*高*深） |
| 材质 | 不锈钢/铝合金 |
| 电极层数 | 7层 |
| 腔体容积 | 100L |
| 工作托盘 | 标配一套，材质可选（铝丝，钢丝网） |
| 电极板分布方式 | 平板电极，可灵活抽取 |
| 控制系统 | 系统控制 | PLC |
| 触摸屏 | 七寸触摸屏 |
| 气体系统 | 气体通道 | 标配两路可增加（氧气、氩气、氮气等） |
| 气体流量控制 | MFC气体质量流量计 |
| 外观参数 | 外形尺寸 | 1100*1750*1000（宽*高*深） |
