真空等离子清洗机包括反应室、射频电源及匹配系统、真空系统、工艺气路系统、压力控制系统、电气控制系统等。真空等离子清洗机的工作原理是：在有效的真空度内，利用2个电极形成电磁场.随着气体越来越稀薄，分子之间受磁场作用发生碰撞而形成等离子体并产生辉光.等离子体在真空腔体空间内自由运动，不断轰击被处理材料表面并与其反应生成产物分子，撤去真空条件后，材料表面的产物分子与空气接触发生解析，生成活性基团。
真空等离子清洗机产品特点：
♦射频电源功率选择为0到1000W可调，频率选择为13.56MHz，同时采用电源匹配系统来调节负载阻抗，以保证的等离子密度和可重复性。
♦电极板主体由不锈钢材料制成，通过电极接头可选择的与电源正极或负极连通，电极板由两侧的绝缘块固定在真空腔体中，整个电极系统可跟据不同需求选择电极板的极性与间距，以获得最合适的等离子体。
♦平行平板型的电极结构，使得在所有样品表面都得到了均匀的等离子体，并且也能提供的样品装载能力，因此满足均匀性和生产能力的要求。
♦供气系统采用高精度流量计来精确调节工作气体的流量，同时采用高稳定性的真空泵来实现废气的均衡排放。
♦高可靠性和稳定性、高效的功率输出、紧凑的结构设计、占地面积小、重量轻、完善的保护功能等特点。
♦前设开门，后方开排气孔、电源线孔，侧面开进气孔，以便于形成动态循环、均匀进气提高清洗的效果。
♦两路独立的气路控制便于探索不同气体配比对清洗效果的影响。
♦真空室材料选用材料为316不锈钢作为放电腔体，耐腐蚀性能好、耐热性强、低温情况下的强度好，冲压弯曲等热加工性好，无磁性。
♦用PLC控制，工艺过程全自动完成，具有良好的互锁和报警功能。
真空等离子清洗机常见应用：
电子领域：可用此技术做混合电路、PCB板、SMT、BGA、导线框和平板显示器的清洗和刻蚀；
微流体器件：微流体装置需要亲水性的表面以便于分析物可以持续平缓的流经 用等离子体处理可以氧化微通道的表面，使它们变成亲水性，从而防止气泡的形成。电动抽吸时的表面电荷密度同样会影响流动速率。等离子体可以有效地促进带电表面的电渗透流动。这是用等离子处理微流体器件的又一个好处。
塑料塑胶：等离子处理技术很适合处理胶接前的塑料、金属、陶瓷、玻璃等材料。在处理时可以在原子级别使表面粗糙化，从而提供更多的表面结合位置，改善粘合效果。 同时，还可以通过等离子中的活性原子化学性的改变表面，从而在基体材料表面形成很强的化学键。这些急性键可以帮助水和粘合剂浸润到所有塑料缝隙中。这样就可以极大地改善粘合性能。在有些应用中，结合力甚至可以提高50倍以上。
印刷电路板（PCB）：去孔内胶渣 ，孔内去胶渣是目前等离子清洗技术在PCB领域应用较多、较广的工艺。胶渣也是以碳氢化合物为主，能够与等离子中的离子或自由基很容易的发生反应，生成挥发性的碳氢氧化合物，最后由抽真空系统带出。
真空等离子清洗机处理优势：
1、等离子处理技术属干式工艺，节省能源，无公害物排放。
2、处理时间短、效率高。
3、对处理对象无严格要求，具有广泛的适用性。
4、能处理外形复杂结构的材料，互有较好的处理均匀性。
5、反应温度低，特别是高分子材料，不会引起形变.。
6、对材料表面处理只有深度几纳米到几百纳米，不会改变材料的基体性。
| 项目 | 型号规格 | 参数 |
| 等离子体发生器 | 功率 | 0-1000W可调 |
| 频率 | 40KHz/13.56MHz |
| 抗辐射干扰高频匹配器 | 自动抗阻匹配，远程通信控制 |
| 真空反应腔室 | 腔体内部尺寸 | 500*500*675（宽高深） |
| 材质 | 不锈钢/铝合金 |
| 电极层数 | 7层 |
| 腔体容积 | 150L |
| 工作托盘 | 标配一套，材质可选（铝丝，钢丝网） |
| 电极板分布方式 | 平板电极，可灵活抽取 |
| 控制系统 | 系统控制 | PLC |
| 触摸屏 | 七寸触摸屏 |
| 气体系统 | 气体通道 | 标配两路可增加（氧气、氩气、氮气等） |
| 气体流量控制 | MFC气体质量流量计 |
| 外观参数 | 外形尺寸 | 1150*1750*1050（宽*高*深） |
