真空等离子清洗设备由清洗结构由控制单元、真空腔及真空泵组成。等离子清洗设备产生的等离子体在真空环境下的活性能量几乎破坏所有的化学键，在所有暴露表面引起化学反应。清洗过程中，无机气体被激发为等离子态，气相物质吸附在固体 表面，被吸附基团与固体表面分子解析形成气相，反应残余物脱离表面。
真空等离子清洗设备产品特点：
♦所有元器件及核心部件采用进口配置，保证了整机的稳定性和使用寿命。
♦真空泵采用进口旋片泵，是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系，在抗氧化、耐腐等诸多方面积累了丰富的经验，使泵的寿命大大提高，并有效降低了泵 的维护成本，泵的各项保护措施完善，提高了长时间工作极限，泵油为耐高温、抗氧化油，泵具有可自行缓解温度过高的 散热体系，无需水冷。泵体内置于机柜内部，使机器紧凑，占地面积小。
♦控制方式:自动控制系统采用PLC加触摸屏控制，所有工艺参数、工艺过程实时监控，并显示运行状态、报警记录和工艺 曲线记录、工作时间记录，适合维护，可以提供工艺参考。
♦电源功率、洁净压力、射频功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。
♦可存储100组工艺配方，随意调用。 工艺参数受密码保护，分级密码管理查询。
♦电极采用高通量等离子结构，牢固可靠易拆卸。
♦反应仓为矩形不锈钢腔体，水平电极板放置，间距可调。
♦真空泵采用双腔式旋片泵，及限真空度可达2Pa以下，一般采用外置。
♦一键完成全自动工艺，实时故障报警、非法操作提示、清洗结束提示等。
♦自动提醒系统堆护、更换真空泵油等，避免机器过载、过老化情形下工作，延长使用寿命。
♦气体质量流量计用的是直联式油旋片真空泵，由模拟量输入输出，量程为0-2000m可在量程范围内无级调节、针闽等 控制工艺气体流量。
♦根据特殊的工艺要求可使用干泵，尾气处理设备，油过滤器，过德返油装置等。
♦电极结构()的高等离子通量设计 能很好地提高等离子体的均匀性及稳定性。
真空等离子清洗设备产品优势：
⑴经等离子清洗后被清洗物是干燥的，无需像其它清洗方法再进行干燥处理，提高效率。
⑵使操作者远离有害试剂的危害，降低对环境的污染。
⑶避免湿法清洗的直接接触使微小精密部件破损变形。
⑷等离子体的无序性使它可以深入清洗微细孔眼及凹陷部位，对清洗物形状没有要求且清洗效果优于试剂清洗。
⑸工艺流程短，只有几分钟，极大提高效率。
⑹工作真空条件约100Pa，容易达到要求，设备成本低性价比高于有机溶剂洗发。
⑺适用材料广泛，金属、半导体、氧化物、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物都可以适用等离子体处理。
⑻可改善材料表面性能，提高润湿性和膜粘着力等。
等离子清洗技术主要利用低温等离子体产生的非平衡电子、离子和自由基等粒子的溅射和刻蚀所带来的物理和化学变化。等离子清洗技术能有效的清除金属、陶瓷、塑料表面的有机污染物，可以显著增加物体的表面能，提高浸润性和粘合性，达到提高焊接强度的效果。
| 型号 | 真空等离子清洗机NE-PE80F |
| 等离子体发生器频率 | 13.56MHz |
| 射频电源功率 | （0～600）W 可调 |
| 工作真空度 | 30～150Pa |
| 反应仓工作温度 | 30~60℃ |
| 气体流量 | (0～200)ml/min |
| 控制方式 | 采用触摸屏人机界面的PLC控制 |
| 腔体材质 | 不锈钢/铝合金 |
| 输入电压 | 380×(1±10%)V(AC) 50Hz～60Hz 三相五线 |
| 气体通道 | 标准两路，可增加，可通入氧气氩气氮气等 |
| 设备功率 | ≤4kW |
| 外形尺寸 | L1200×W1100×H1850（mm） |
| 反应仓尺寸 | W450mm×H400mm×D470mm |
