三坐标测量机是一种典型的机电一体化设备，由机械系统和电子系统组成。

（1）机械系统：一般由三个正交线性运动轴组成。在图9-1所示的结构中，X导轨系统安装在工作台上，移动桥梁为Y导轨系统，Z导轨系统安装在滑动架上。三个方向轴都配备了光栅尺来测量每个轴的位移值。手动驱动的手轮和移动。数控驱动电机通常靠近每个轴。用于触摸被检测部件表面的测量头安装在Z轴端部。

（2）电子系统：一般由光栅计数系统、测头信号接口、计算机等组成，用于获取被测坐标点数据，并对数据进行处理。

坐标测量仪工作原理

三坐标测量机是一种基于坐标测量的通用数字测量设备。首先，坐标测量仪将测量几何元素的测量转换为测量这些几何元素上的某些点集坐标位置。测量这些点的坐标位置后，根据这些点的空间坐标值，通过数学操作找出尺寸和形状误差。如图9-2所示，为了测量工件上圆柱孔的直径，可以在垂直于孔轴线的截面I中触摸内孔壁上的三个点（点1.2.3），孔的直径和圆心坐标OI可以根据这三点的坐标值计算；如果在截面中触摸更多的点（点1、2..、n、n为测点数），则可以根据最小二乘法或最小条件法计算截面圆的圆度误差；如果测量多个垂直于孔轴线的截面圆（I、II、m、m为测量的截面圆数），则孔的圆柱度误差和各截面圆的圆心坐标可以根据测量点的坐标值计算，然后孔轴的位置可以根据每个圆的中心坐标值计算；如果在孔端面A上触摸三点，则可以计算孔轴对端面的位置误差。可以看出，CMM的工作原理使其具有很大的通用性和灵活性。原则上，任何工件的任何参数。