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2.2.4 Z轴升降行程:200mm 2.2.5 X、Y、Z数显解析度:0.0005mm 2.2.6 X、Y坐标示值误差:≤(3+L/200)um 2.3 X、Y轴向马达运动速度:<120mm/s 2.4 Z轴向马达运动速度:<60mm/s 2.5 仪器外形尺寸:1840×960×1867 2.6 仪器重量:800Kg |
型号 | JTVMS-2010 CNC | JTVMS- 3020 CNC | JTVMS- 4030 CNC | |
测量行程 | 200*100*200(MM) | 300*200*200(MM) | 400*300*200(MM) | |
外形尺寸 | 750*550*1712(MM) | 876*650*1712(MM) | 1050*750*1735(MM) | |
测量 精度 | XY轴 | ≤(3+L/200)μm | ||
Z轴 | ≤(4+L/200)μm | |||
光栅尺 | 高精度光栅尺分辨率0.5μm | |||
CCD | SONY | |||
软件 | 自主研发 | |||
光学系统 | 自动变倍镜头、可选配激光、可测量透明玻璃的厚度和平整度 | |||
光源 | 连续可调式LED环形表面光和轮廓光、根据放大倍率程控调节光亮强度 | |||
电源 | 220V±10% 50HZ | |||
工作环境 | 温度20℃±3℃ 湿度45%-75% |