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Pfeiffer 普发 APA 302 无菌室监控系统、环境
面议Pfeiffer 普发 AMI 121 无菌室监控系统
面议Pfeiffer 普发 APR 4300 无菌室监控系统、环境
面议法国alcatel阿尔卡特 2000系列真空计
面议爱德华真空计APG-L-NW16(货号 D02173000)、APG-M-NW16 (货号 D02171000)、APGX-M-NW16ALI(货号 D02371000)
面议ULVAC爱发科Gatch系列皮拉尼真空计
面议ULVAC爱发科Gatch系列冷阴极电离真空计
面议pfeiffer普发 TTR101 皮拉尼真空计
面议pfeiffer普发 TTR 91 、TTR96 皮拉尼真空计
面议pfeiffer普发 TPG 202 皮拉尼真空计组合传感器
面议pfeiffer普发 RPT 200 皮拉尼真空计
面议pfeiffer普发 PTR 91 皮拉尼真空计
面议Pfeiffer 普发 ADPC 302 无菌室监控系统、环境
应用:
用于无菌室, 环境
ADPC 302 是一款在半导体领域的用于粒子污染监测的过程内污染管理系统。
高效粒子监测
亚微米粒子会造成可能导致相当大产量损失的缺陷。即使是测量值为 0.1 μm 的最小粒子,也可能会损坏半导体芯片的结构。创新的 ADPC 302 可测量晶片传送载体内的粒子数量(前开式晶圆传送盒 FOUP,前开式装运箱 FOSB)。全自动的工艺从载体表面(包括门)对粒子进行定位和计数。
得益于的晶圆,该系统可用于成批生产和研发分析。主要应用是载体特征化、清洗策略优化和清洗质量检查。
与传统湿法相比较(液体颗粒计数器),ADPC 的干式工艺(干式粒子计数器)显示出了明显的优势。干式工艺的主要优势在于粒子测量是自动的。它是在生产过程中集成的,因此不再需要生产周期之外的时间。有了全自动测量,该过程无需额外的操作员。测试时间只需 7分钟,意味着 ADPC 302 的速度是传统系统的 4 倍。可在 1 个小时内测试 8 个运输箱。