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技术参数
型号 | VMS2010 | VMS3020 | VMS4030 | VMS5040 |
有效测量行程 | 200*100 | 300*200 | 400*300 | 500*400 |
Z轴调焦升降范围 | ≤200mm | ≤200mm | ≤200mm | ≤200mm |
玻璃台尺寸 | 223mm×143mm | 330mm×230 mm | 450mm×340mm | 555mm×445mm |
载物台尺寸 | 345mm*250mm | 445mm×345mm | 620mm*510mm | 720mm×610mm |
承载重量 | ≤25 kg | |||
线性精度 | U≤( 3+L/200 )μm | |||
分辨率 | 0.001mm | |||
CCD | 美国TEO高分辨率1/3”彩色CCD 600TV线 | |||
镜头 | 可连续变倍高清镜头 光学放大倍率0.7×-4.5× | |||
影像放大倍率 | 20×-180× | |||
光栅尺 | 高精度精密光栅尺,分辨率1um | |||
测量软件 | 光学视觉精密测量软件 | |||
主机机身 | 底座、立柱、工作台均为000级高精度花岗石平台 | |||
主机外形尺寸 | 570×410×870mm | 700×470×950mm | 980×670×1020mm | 1170×770×1030mm |
注：L表示测量长度，以毫米为单位。
