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| 特点 | 规格 |
|---|---|
| 量测 | 厚度, 反射率, 吸收率, 表面结构 |
| 量测波长 | 632.8 nm(He-Ne 雷射) |
| 量测时间 | 100 ms~2 s |
| 量测厚度 | 2 nm~6000 nm |
| 样品平台 | 200 mm (自动 Rho/Theta) |
| 反射角检测 | 自动 / 手动 |
| 角度 | 45° – 90° / 12° – 90° |
| 变化角度 | 5° / 1° |
| 重复性 | 0.01° |
| 准确度 | Psi：0.002° Delta：0.002° |
| 厚度精确度 | 0.01nm( 80nm Si3N4 on Si) |
