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仪器特点
WeiMi01BG白光干涉测量模组,白光干涉仪，广泛应用于消费电子类、半导体封装、超精密加工(机械、光学)、微纳材料等各大领域精密零部件之重点部位的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸等检测，如智能电子产品的玻璃外壳、超光滑薄片(如home键里的薄片、手机摄像头里面的薄片)等产品检测。高品质激光检测仪,实现纳米级精度测量！
■ 白光干涉和多角度共路照明相结合，照明和成像光线方向一致。创新算法和高度匀速位移台的匹配，实现连续3D成像。
■ 使用进口130万像素相机和GPU优化算法，实现大数据量实时运算。
■ 选配高精度压电陶瓷，可在高度方向实现纳米级精度测量。
■ 高度集成化模组，便于多种场景的视觉系统集成。
■ 产品可用于高度、表面角度、平面度、厚度、体积、颜色相近表面区分等场景的测量。
产品参数
| 仪器型号 | WeiMi01BG | ||
| 横向分辨率 | 1280x1024 | 外观尺寸(mm) | 280x166x84.5 |
| 横向最小分辨率 | 6um*6um | 高度分辨率 | 0.5um |
| 高度重复精度 | 1.5um | 模组自带量程 | 12mm (可通过外加位移台拓展) |
| 视场区城 | 7.5mm*6.0mm | 重量 | 3.6Kg |
| 工作距离 | 58mm | 数据接口 | USB 3.0 |
| 电源 | AC 220V 50HZ | ||
测量速度 (高度方向扫描速度) | (222x p)um/s@分辨率pum 如222um/s@分辨率1um、444um/s@分辨率2um | ||
