等离子清洗机（GAS PLASMA DRY CLEANERS） 型号：PDC200/210/510

等离子清洗机（GAS PLASMA DRY CLEANERS） 型号：PDC200/210/510

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-10-31 07:19:56
83
产品属性
关闭
西安凯跃电子科技有限公司

西安凯跃电子科技有限公司

免费会员
收藏

组合推荐相似产品

产品简介

等离子清洗机（GAS PLASMA DRY CLEANERS） 型号：PDC200/210/510

详细介绍

等离子清洗机（GAS PLASMA DRY CLEANERS） 型号：PDC200/210/510

仪器简介：

研究开发用等离子清洗机

用途：

CSB/BGA/COB基板的等离子处理
有机膜和金属氧化膜的除去
印刷电路基板的干洗
界面活性处理



技术参数：
型号 PDC200 PDC210 PDC510
模式 RIE模式（DP选配） DP模式 DP/RIE切换方式
电极构造 平行平板电极（固定）
高频输出功率 MAX300W Max 500W
频率 13.56MHz
控制方式 自动联动，液晶触摸屏控制
反应室尺寸 400×250×150mm 500×300×200
电极尺寸 250×170mm 400×200mm
反应室材质 一次性一体成型铝腔（防腐蚀，可对应CF4）
反应气体 2系统（Ar/O2）
填充气体 N2/洁净干燥空气
反应气体流量控制 流量计 聚合控制器
真空泵 另行选配 油回旋真空泵（排气量345L/min） 油回旋真空泵（排气量500L/min）
气体导入口 反应气体2套，填充气体1套
外型尺寸 540×600×600mm 540×600×600mm 700×700×700mm
电源 单相AC100V 15A 50/60Hz 三相AC100V 15A 50/60Hz


主要特点：

RIE模式标配（DP切换为选购）
等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面

典型用户

采购单位名称 采购时间 采购台数 备注
瑞声声学科技控股有限公司 2006-7-1 1
东芝大连有限公司 2008-7-9 1
东莞石龙京瓷光学有限公司 2007-9-10

上一篇：子柒等离子清洗技术为什么的更更有效促进了集成电路加工 下一篇：子柒教你怎么选择适宜的低温等离子处理机
热线电话 在线询价
提示

请选择您要拨打的电话：