高精度激光测振仪是采用迈克尔逊干涉仪技术的激光纳米测振仪和微量振动测量仪,单点测量分辨率高达亚pm,成像模式分辨率高达0.1
nm,扫描分辨率高达1nm,还能给出1Hz至2.5MHz的FFT频谱和2.5MHz以下的
弯曲振动模态bending modes。 高精度激光测振仪全面满足日益苛刻的研发和品质控制需要和对MEMS微机电系统的需求,通过在样品上用迈克尔逊干涉仪的聚焦激光束进行光栅扫描来实现，对微量振动进行百万像素微观结构振动成像,测量显微图像中每个像素的振动。
高精度激光测振仪配有压电式样品振动器和数字锁定放大器,用于测量振动的振幅和相位，从中可以重建2.5MHz以下的
弯曲模态bending modes。
高精度激光测振仪特色：
所用迈克尔逊干涉仪激光束同时用于记录样品的共焦反射图像,该图像本质上与振动测量一致。因此，不需要额外的显微镜成像系统。
即使控制器和兼容UHV的扫描仪结构非常紧凑,也可提供20毫米尺寸的扫描能力。
高精度激光测振仪系统组件
： 包含干涉仪、函数发生器和锁定放大器（33 cm x 28 cm x 7.5 cm）
运动控制器：执行XYZ定位器的闭环操作，并包含用于振动台（33 cm x 28 cm x 7.5 cm）的功率放大器。
XYZ扫描仪（10 cm x 5.5 cm x 7.5 cm），用于光栅扫描样品上的聚焦激光头。
花岗岩板（20 cm x 15 cm x 4 cm），带直径2.5 cm的柱，用于安装扫描仪
带支架的振动台
高精度激光测振仪规格参数
工作原理：迈克尔逊干涉仪，单模光纤耦合
测量激光：1550nmDFB激光二极管，稳定（NIST可追踪），功率输出<1 mW（激光等级1）
激光光斑直径：7µm（焦点处）
分辨率：单点测量为亚pm，成像模式为0.1nm。
成像模式：振幅和相位图像可以使用所含软件进行分析或导出。
单点模式：1Hz至2.5MHz的FFT频谱，250万点
数字锁定放大器
频率范围：500 Hz-2.5 MHz
参考信号：可通过标准振动台和输出信号驱动定制执行器。
时间常数：可从1微秒调节到0.5毫秒
动态存储：>100分贝
光学显微镜：
工作原理：共焦激光扫描干涉仪测量激光
焦距调整：手动或自动，带闭环压电驱动
横向分辨率：5µm
最小像素尺寸：1µm
图像尺寸：20 x 20 mm
像素数：1000 x 1000
扫描系统：
工作原理：三轴线性压电驱动，闭环
分辨率：1nm
重复精度：30nm
行程：20 mm（其他根据要求定制）
尺寸
控制器：每个33.0 x 27.0 x 7.0 cm（W x L x H）2个
扫描仪安装：花岗岩石材15.0 x 20.0 x 4.0 cm（W x L x H），不锈钢柱2.5 x 15.0 cm（ L x H）
扫描台：5.5 x 11.0 x 7.5厘米（W x L x H）
振动台：不锈钢8.0 x 1.5 cm（ L x H）
