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● 采用亚像素细分技术,提高边界分辨能力
● 在线SPC数据处理分析,大批量治具测量
● X、Y、Z三轴步进伺服控制,定位精度高速度快,X、Y速度可达180mm/s,运行平稳
● 采用自主开发的嵌入式模块控制系统,将负责的控制系统集成于仪器内部,稳定性更高
● 采用花岗石低座,性能稳定,不易变形
● 激光指示器指示测量位置,快速定位
● 可选配自动变倍功能,无需要重复像素校正实现多倍率下高效测量
| 仪器型号 | | VMS-4030H | |
工 作 台 | 金属台尺寸(mm) | | 606X466 | |
玻璃台尺寸(mm) | | 450X350 | ||
X/Y运动行程(mm) | | 370X270 | ||
仪器重量(kg) | | 266 | ||
外型尺寸(长x宽x高) | 970X670X940mm | |||
测量与瞄准系统 | 数显解析度:0.0005mm 摄像机:进口 1/2"CCD | |||
电视总倍率:23.5--148X 变焦物镜(NAVITAR)倍率:0.7--4.5X | ||||
工作距离:92mm 物方视场:11.1--1.7mm | ||||
电 | 三轴运动速度 | 100mm/s | ||
机 | 三轴定位精度 | 0.001mm | ||
Z轴升降行程:150mm X.Y坐标示值误差≤(3+L/75)μm(L为被测长度单位:mm); | ||||
仪器标准配备及选购件(0.5X附加镜,2X附加镜,特殊配备0.5X镜筒) |