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型号 | 处理样(个) | 外形尺寸(mm) | 加热块(个) | 气体流量(L/min) | 功率 (W) | 重量 (kg) |
HGC-12A | 12 | 260×220×400 | 1 | 0-5 | 150 | 4.5 |
HGC-24A | 24 | 310×265×400 | 2 | 0-10 | 200 | 5.3 |
HGC-36A | 36 | 390×220×400 | 3 | 0-15 | 300 | 9 |
HGC-96A | 96 | / | 4 | 0-40 | 480 | / |
名称 | HSC-24A | HSC-24B | HSC-12B | HSC-12A |
处理样(个) | 24 | 24 | 12 | 12 |
外形尺寸(mm) | 310×265×400 | φ360×820 | φ250×200 | 260×220×400 |
气体流量(L/min) | 0-10L/min | 0-10L/min | 0-5L/min | 0-5L/min |
功率(W) | 200 | 200 | 400 | 150 |
重量(kg) | 5.3 | 5.8 | 7 | 4.5 |